Machine d’assemblage automatisé de capteurs utilisés dans des environnements aérospatiaux exigeants. La machine réalise le collage de wafers sur des supports métalliques, l’ensemble constitue le capteur.

• Vision intégrée avec calibration automatique.
• Magasin d’outil intégré.
• Trajectoires définies dans l’espace en programmation ISO.
• Largeur du cordon de colle : 0,8 mm.
• Précision absolue de la dispense du cordon de colle : < 0,1 mm.
• Contrôle par vision de la dispense du cordon de colle.
• Chargement simplifié des wafers.
• Précision de positionnement du wafer sur son support : < 10 µm.
• Écran tactile de programmation et de contrôle.

La machine d’assemblage utilise les axes linéaires motorisés SYZAX, un nouveau système d’axes modulaires compacts, performants et précis.

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• Partenariat entre les sociétés OPµS (conception mécanique et optique, programmation temps réel, montage mécanique), Unitechnologies (gestion du projet, programmation générale et vision, câblage) et Objectis (programmation logiciel de traitement de données).
• Conception salle blanche et ESD.
• Mesure de position en temps réel par interféromètre laser différentiel à +/-10nm.
• Acquisition temps réel avec timestamp des données critiques de process (précision temporelle < 1 µs).
• Système de mesure entièrement monté sur granit de précision avec système anti-vibration.
• Déplacement des axes sur coussin d’air avec système de poursuite automatique des axes (came électronique).
• Acquisition synchrone avec vérification temporelle continue des images vidéo et des positions des axes.
• Système de diaphragme interchangeable avec refroidissement liquide.
• Bords de lames motorisées à +/-100nm.
• Conception spéciale pour dissipation thermique minimale des moteurs.
• Trajet optique protégé de l’extérieur avec mise sous azote.
• Outillages de calibration et de validation du système.
• Architecture logicielle pilotage / traitement des données séparée et modulaire prête pour améliorations futures.

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• Conception salle blanche et ESD.
• Système miniature de renvoi de faisceau avec très peu de dissipation thermique composé de 7 axes numériques.
• Intégration d’une source infrarouge HGH.
• Intégration d’un interféromètre Bruker dans le chemin optique avec système anti-vibration.
• Conception étanche des portes, des passages de câbles pour mise sous azote du chemin optique.
• Outillages pour mesurer l’uniformité et l’alignement de la tache optique à l’aide d’une caméra infrarouge.
• Renvoi optique par auto-collimateur de Offner avec plan focal intermédiaire pour l’implémentation de filtres optiques.
• Rack 19″ intégré au bâti pour montage des éléments de commande.

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